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        湖南頂立科技股份有限公司
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        產品詳情
        超高溫碳化物沉積爐
        超高溫碳化物沉積爐的圖片
        參考報價:
        面議
        品牌:
        頂立科技
        關注度:
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        樣本:
        暫無
        型號:
        超高溫碳化物沉積爐
        產地:
        湖南
        信息完整度:
        典型用戶:
        暫無
        非金屬電熱元件:
        其他
        金屬電熱元件:
        其他
        燒結氣氛:
        其他
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        名 稱:湖南頂立科技股份有限公司
        認 證:工商信息已核實
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        產品簡介

        超高溫碳化物沉積爐技術特征

        采用先進的控制技術,能精密控制H2、C3H6的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動??;

        全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

        多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

        多級高效尾氣處理系統,能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物,環境友好;

        可選配新設計的防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率低;

        適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2。

        超高溫碳化物沉積爐產品規格

        參數\型號HCVD-101015-ZrCHCVD-152023-ZrCVCVD-0608-ZrCVCVD-0812-ZrCVCVD-1120-ZrCVCVD-1218-ZrCVCVD-1520-ZrC
        工作區尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800800×12001100×20001200×18001500×2000
        **溫度(℃)2000200020002000200020002000
        溫度均勻性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
        極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
        壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67
        加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

        以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

        超高溫碳化物沉積爐配置選擇

        結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

        爐門鎖緊方式:手動/自動

        爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼

        保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

        加熱器、馬弗材質:石墨/CFC

        熱電偶:C/S分度號

        紅外儀:單比色/雙比色

        真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組


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