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      湖南頂立科技股份有限公司
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      產品詳情
      立式化學氣相沉積爐(沉積炭)
      立式化學氣相沉積爐(沉積炭)的圖片
      參考報價:
      面議
      品牌:
      頂立科技
      關注度:
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      樣本:
      暫無
      型號:
      立式化學氣相沉積爐(沉積炭)
      產地:
      湖南
      信息完整度:
      典型用戶:
      暫無
      非金屬電熱元件:
      其他
      金屬電熱元件:
      其他
      燒結氣氛:
      其他
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      名 稱:湖南頂立科技股份有限公司
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      產品簡介

      立式化學氣相沉積爐(沉積炭)技術特征

      電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

      采用智能壓力調控,壓力波動??;

      全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

      多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;

      多級高效尾氣處理系統,環境友好,能高效收集焦油及副產物,易清理;

      可選配外循環快冷系統,降溫時間短,生產效率高;

      立式化學氣相沉積爐(沉積炭)產品規格

      參數\型號VCVD-0305-CVCVD-0608-CVCVD-0812-CVCVD-1120-CVCVD-1320-CVCVD-1520-C
      工作區尺寸D×H(mm)Φ300×500Φ600×800Φ800×1200Φ1100×2000Φ1300×2000Φ1500×2000
      **溫度(℃)150015001500150015001500
      溫度均勻性(℃)±5/±10±7.5/±10±7.5/±15±10/±15±10/±15±10/±20
      極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
      壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
      加熱方式電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應


      參數\型號VCVD-1822-CVCVD-2032-CVCVD-2632-CVCVD-3338-CVCVD-3344-C
      工作區尺寸D×H(mm)Φ1800×2200Φ2000×3200Φ2600×3200Φ3300×3800Φ3300×44000
      **溫度(℃)15001500150015001500
      溫度均勻性(℃)±15±15±15±20±20
      極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
      壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
      加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻

      以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

      立式化學氣相沉積爐(沉積炭)配置選擇

      結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

      爐門鎖緊方式:手動/自動

      爐殼材質:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

      保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

      加熱器、馬弗:石墨/CFC/金屬

      熱電偶:K/N/C/S分度號

      電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)


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