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      湖南頂立科技股份有限公司
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      產品詳情
      臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)
      臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)的圖片
      參考報價:
      100-150萬元
      品牌:
      頂立科技
      關注度:
      1381
      樣本:
      暫無
      型號:
      臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)
      產地:
      湖南
      信息完整度:
      典型用戶:
      暫無
      溫控精度:
      ±7.5
      最高溫度:
      -1500
      額定溫度:
      -1500
      非金屬電熱元件:
      其他
      金屬電熱元件:
      其他
      燒結氣氛:
      其他
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      認證信息
      金牌會員 第 4
      名 稱:湖南頂立科技股份有限公司
      認 證:工商信息已核實
      訪問量:614935
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      產品簡介

      臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)技術特征

      電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

      采用智能壓力調控,壓力波動??;

      全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

      多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;

      多級高效尾氣處理系統,環境友好,能高效收集焦油及副產物,易清理;

      可選配外循環快冷系統,降溫時間短,生產效率高;

      臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)產品規格

      參數\型號HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-152023-CHCVD-252035-C
      工作區尺寸 
      W×H×L(mm)
      600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30001500×2000×23002500×2000×3500
      **溫度(℃)150015001500150015001500
      溫度均勻性(℃)±7.5±7.5±10±10±10±10
      極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
      壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
      加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻

      以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。


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