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        湖南頂立科技股份有限公司
        首頁 > 產品中心 > 真空爐 > 臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)
        產品詳情
        臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)
        臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)的圖片
        參考報價:
        100-150萬元
        品牌:
        頂立科技
        關注度:
        1885
        樣本:
        暫無
        型號:
        臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)
        產地:
        湖南
        信息完整度:
        典型用戶:
        暫無
        溫控精度:
        ±7.5
        最高溫度:
        -1500
        額定溫度:
        -1500
        非金屬電熱元件:
        其他
        金屬電熱元件:
        其他
        燒結氣氛:
        其他
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        認證信息
        金牌會員 第 5
        名 稱:湖南頂立科技股份有限公司
        認 證:工商信息已核實
        訪問量:726149
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        產品簡介

        臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)技術特征

        電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

        采用智能壓力調控,壓力波動??;

        全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

        多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;

        多級高效尾氣處理系統,環境友好,能高效收集焦油及副產物,易清理;

        可選配外循環快冷系統,降溫時間短,生產效率高;

        臥式化學氣相沉積爐(沉積炭)產品規格

        參數\型號HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-152023-CHCVD-252035-C
        工作區尺寸 
        W×H×L(mm)
        600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30001500×2000×23002500×2000×3500
        **溫度(℃)150015001500150015001500
        溫度均勻性(℃)±7.5±7.5±10±10±10±10
        極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
        壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
        加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻

        以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。


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