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      湖南頂立科技股份有限公司
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      產品詳情
      立式化學氣相沉積爐(SiC、BN)
      立式化學氣相沉積爐(SiC、BN)的圖片
      參考報價:
      100-150萬元
      品牌:
      頂立科技
      關注度:
      4081
      樣本:
      暫無
      型號:
      VCVD
      產地:
      湖南
      信息完整度:
      典型用戶:
      暫無
      非金屬電熱元件:
      其他
      金屬電熱元件:
      其他
      燒結氣氛:
      真空
      溫控精度:
      ±5
      最高溫度:
      1500
      額定溫度:
      1500
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      認證信息
      金牌會員 第 4
      名 稱:湖南頂立科技股份有限公司
      認 證:工商信息已核實
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      公眾號
      產品簡介

      立式化學氣相沉積爐(SiC、BN)

      • 產品描述:

      • 立式化學氣相沉積爐(SiC、BN)可用于材料的表面涂層、基體改性、復合材料制備等

      • 應用范圍:

      • 外延片基座、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導體坩堝、陶瓷基復合材料等


      技術特征

      采用先進的控制技術,能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動范圍??;

      全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

      多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

      多級高效尾氣處理系統,能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物,環境友好;

      可選配新設計的防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率極低;

      使用工藝氣氛:真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。


      產品規格

      參數\型號VCVD-0305-SICVCVD-0608-SICVCVD-0812-SICVCVD-1120-SICVCVD-1520-SIC
      工作區尺寸D×H(mm)300×500600×800800×12001100×20001500×2000
      **溫度(℃)15001500150015001500
      溫度均勻性(℃)±5±7.5±7.5±10±10
      極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
      壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
      加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻

      以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。


      配置選擇

      結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

      爐門鎖緊方式:手動/自動

      爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼

      保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

      加熱器、馬弗材質:石墨/CFC/金屬

      熱電偶:K/N/C/S分度號

      真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組



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