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        湖南頂立科技股份有限公司
        首頁 > 產品中心 > 真空爐 > 臥式化學氣相爐
        產品詳情
        臥式化學氣相爐
        臥式化學氣相爐的圖片
        參考報價:
        100-150萬元
        品牌:
        頂立科技
        關注度:
        4114
        樣本:
        暫無
        型號:
        SiC、BN
        產地:
        湖南
        信息完整度:
        典型用戶:
        暫無
        非金屬電熱元件:
        其他
        金屬電熱元件:
        其他
        燒結氣氛:
        真空
        溫控精度:
        ±7.5
        最高溫度:
        1500
        額定溫度:
        1500
        索取資料及報價 撥打電話
        認證信息
        金牌會員 第 5
        名 稱:湖南頂立科技股份有限公司
        認 證:工商信息已核實
        訪問量:726193
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        產品簡介

          

        臥式化學氣相沉積爐(SiC、BN)

        • 產品描述:

        • 臥式化學氣相沉積爐(SiC、BN)可用于材料的表面涂層、基體改性、復合材料制備等

        • 應用范圍:

        • 外延片基座、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導體坩堝、陶瓷基復合材料等


        技術特征

        采用先進的控制技術,能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動范圍??;

        全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

        多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

        多級高效尾氣處理系統,能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物,環境友好;

        可選配新設計的防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率極低;

        使用工藝氣氛:真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。


        產品規格

        參數\型號HCVD-060609-SICHCVD-101015-SICVCVD-121220-SICHCVD-151530-SICHCVD-252035-SIC
        工作區尺寸W×H×L(mm)600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30002500×2000×3500
        **溫度(℃)15001500150015001500
        溫度均勻性(℃)±7.5±7.5±10±10±10
        極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
        壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
        加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻

        以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。


        配置選擇

        結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

        爐門鎖緊方式:手動/自動

        爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼

        保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

        加熱器、馬弗材質:石墨/CFC/金屬

        熱電偶:K/N/C/S分度號

        真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組



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