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      湖南頂立科技股份有限公司
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      產品詳情
      立式化學氣相沉積爐
      立式化學氣相沉積爐的圖片
      參考報價:
      100-150萬元
      品牌:
      頂立科技
      關注度:
      4075
      樣本:
      暫無
      型號:
      VCVD
      產地:
      湖南
      信息完整度:
      典型用戶:
      暫無
      非金屬電熱元件:
      其他
      金屬電熱元件:
      鎳銅絲
      燒結氣氛:
      真空
      溫控精度:
      ±5
      最高溫度:
      1500
      額定溫度:
      1500
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      認證信息
      金牌會員 第 4
      名 稱:湖南頂立科技股份有限公司
      認 證:工商信息已核實
      訪問量:614972
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      產品簡介

       立式化學氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳氫氣體(如C3H8、CH4等)為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理。


      技術特征

      ☆ 采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

      ☆ 采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
      ☆ 采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
      ☆ 對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。


      產品規格

      參數\型號VCVD-0305-CVCVD-0608-CVCVD-0812-CVCVD-1120-CVCVD-1320-CVCVD-1520-C
      工作區尺寸D×H(mm)Φ300×500Φ600×800Φ800×1200Φ1100×2000Φ1300×2000Φ1500×2000
      **溫度(℃)150015001500150015001500
      溫度均勻性(℃)±5/±10±7.5/±10±7.5/±15±10/±15±10/±15±10/±20
      極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
      壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
      加熱方式電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應電阻/感應


      參數\型號VCVD-1822-CVCVD-2032-CVCVD-2632-CVCVD-3338-CVCVD-3344-C
      工作區尺寸D×H(mm)Φ1800×2200Φ2000×3200Φ2600×3200Φ3300×3800Φ3300×4400
      **溫度(℃)15001500150015001500
      溫度均勻性(℃)±15±15±15±20±20
      極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
      壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67
      加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻

      以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。



      配置選擇

      ☆ 爐門:絲桿升降/液壓升降/手動升降;旋轉移開/平行移開(大尺寸爐門);手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊 

      ☆ 爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
      ☆ 爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC
      ☆ 加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
      ☆ 工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產
      ☆ 熱電偶:K分度號/N分度號/C分度號/S分度號

       


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